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動態氣體混配/稀釋系統-S2000Download

 S2000 

基本規範:

基本配備包含三組流量控制器

濃度/流量精確度±1.0%

再現性±1.0%

最大操作壓力75 psig (建議25psig)

可依需要擴充配備

可自動混合稀釋準確之標準氣體,濃度範圍由%ppb,供各種儀器包含氣相層析儀,製程氣體分析儀,質譜儀及FTIR等執行單點或多點校正。

可同時混合2-8組不同來源氣體鋼瓶

25*80字元液晶顯示可顯示完整資料,基本資訊可同時顯示:

     1.所有流量控制器之設定及實際流量,包含總輸出流量

     2.鋼瓶內所有組成氣體設定及實際流量與濃度 

     3.臭氧產生器壓力及流量,燈源電壓等 

面板上六個薄膜式快捷鍵,操作容易。

可經由RS-232以電腦操作進行遠端控制 

模組化設計,方便後續增加配備,減少重複投資

高容量記儲存功能,可儲存200筆氣體混配稀釋配方。

 

Series 2000依據各種不同應用需求,可提供各種特殊用途之系統。

型號 中文名稱 型號 中文名稱
Series 2000 多種氣體混配裝置 Series 2020 動態氣體稀釋裝置
Series 2000-U

超潔淨型校正裝置

(半導體超潔淨需求之應用)

Sereis 2020CEMS 煙道氣體分析儀校正裝置
Series 2010 氣體切割裝置 Series 9100 環境監測儀校正系統
Series 2014 VOC 揮發性有機氣體攜式裝置 Series 8000 鋼瓶氣體加壓配製系統

 

2000 Series可選擇之配有: 

可增加到八組質量標量控制器。

逆沖清管路功能。 

增加氣體輸入口。 

管路加熱功能。

臭氧產生器,可執行氣相滴定(GPT)功能。

滲透爐。

小鋼瓶充填功能(Canister filling)。

氣體加濕功能。

 

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